一種LED晶粒點測機的針偏檢測系統及方法,包含一點測機及一計數顯示裝置,其中該點測機至少具有一用以置放至少一片LED晶圓的承載位移裝置及兩支用以與該LED晶圓上該些LED晶粒電氣接觸的測試探針,而該計數顯示裝置與該兩支測試探針電性相接,故能夠形成一針偏檢測回路,用以計數顯示該兩支測試探針于該LED晶圓上的測試探針偏移次數;因此該兩支測試探針能夠依序點測LED晶圓上的該些LED晶粒,在持續位移點測的情況下,能夠藉由檢測該兩支測試探針是否與該LED晶粒接觸范圍形成導通回路,并持續累積未接觸導通的次數,以作為探針偏移的總次數。本發明能夠將發生針偏的次數進行累積計數與顯示針偏次數,以輔助機臺作業人員進行針偏位移失效總數的統計。
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