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檢測晶格位錯的方法

1007   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:59
本發明公開了一種檢測晶格位錯的方法，包含如下步驟：選取失效器件進行電學測試，多次掃描測量其電壓-電流曲線，觀察多次掃描得到的電壓-電流曲線有無逐漸變大或變小的情況；對失效器件進行烘烤，重新多次測量其電壓-電流曲線，觀察有無逐漸變大或變小的情況；對于確定電壓-電流曲線發生變化的器件，進行微光顯微鏡定位，進一步縮小位錯的范圍；將器件進行研磨，用聚焦離子束進行切割，物理解析制樣形成透射電子顯微鏡樣品；采用常規透射電子顯微鏡觀察方式進行位錯觀察，獲得位錯像。上述方法通過電學分析到物理分析的流程，分析位錯并找出位錯的位置，提高集成電路器件失效分析的效率，降低成本。
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聲明：
“檢測晶格位錯的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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