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基于圖像的失效ESD器件無損表征方法

1126   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:38
本發明涉及一種基于圖像的失效ESD器件無損表征方法，其特點是采用激光掃描或光發射顯微技術對失效初期器件進行漏電路徑定位，以及X射線顯微鏡對失效后期ESD器件進行斷層掃描和3D重構，基于圖像的觀測，對失效ESD器件進行全面的無損表征，得到不同失效階段的原因，以指導器件的優化設計。本發明與現有技術相比具有利用無損的方法得到不同失效階段的原因，找出器件的可靠性問題和設計存在的薄弱區域，從而達到ESD器件優化的結果，指導器件的優化設計，提高ESD器件的可靠性，有效減少系統成本，降低設計和布線的復雜度，尤其適用系統的研究ESD器件內在運行機制和需要優化的部分，在低壓、高壓集成電路中具有重要的應用前景。
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