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微光顯微鏡芯片失效分析方法及系統

839   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明公開了一種微光顯微鏡芯片失效分析方法,利用硬件描述語言開發芯片測試激勵;用軟件對芯片測試激勵進行仿真,仿真正常后將芯片測試激勵燒入FPGA基板;FPGA基板輸出多個激勵pattern輸出到待分析芯片的多個引腳,使待分析芯片電路進入故障激發模式;通過微光顯微鏡捕捉亮點,最后對亮點進行電路分析和失效分析。本發明還公開了一種微光顯微鏡芯片失效分析系統。本發明的微光顯微鏡芯片失效分析方法及系統,能實現多通道復雜測試向量施加,實現微光顯微鏡芯片缺陷定位,降低了芯片失效分析成本并提高分析效率。
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