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半導體激光器失效分析樣品制備的中間夾具及其方法

1107   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明公開了一種半導體激光器失效分析樣品制備的中間夾具及其方法，中間夾具包括第一夾持件和第二夾持件；第一夾持件用于夾持TO激光器，夾持有TO激光器的第一夾持件注塑后能得到冷鑲嵌樣品，第二夾持件用于固定冷鑲嵌樣品并控制其研磨厚度；第一夾持件包括第一殼體和柱形載塊；第二夾持件包括第二殼體、調節件和墊件；墊件能在調節件的作用下實現上下移動，同時調節冷鑲嵌樣品露出樣品槽部分的大小。本發明的制備過程無高溫操作，有效保護芯片；同時無需昂貴的微納加工設備，制樣過程簡易，易于操作；制備得到的樣品可直接用于電致發光、光致發光和電子束誘導電流的失效分析與缺陷檢測。
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