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流體動壓拋光裝置

1002   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:24
本實用新型實施例提供了一種流體動壓拋光裝置。所述裝置包括氣囊拋光工具、精密測力臺、精密位移臺以及拋光液供給系統。所述氣囊拋光工具使用前需經過精密修整；精密測力臺與精密位移臺配合實現氣囊拋光工具與工件間的間隙精密控制；拋光時，拋光液注入拋光墊與工件的間隙后，氣囊拋光工具高速旋轉帶動拋光液在氣囊與工件間產生流體動壓，進而實現間隙中的拋光顆粒以一定速度和壓力對工件表面進行去除。本實用新型實施例提出的流體動壓拋光裝置可實現通過控制工藝參數(如間隙、轉速、拋光顆粒大小)改變材料去除量，以滿足工件不同工藝目的下的效率需求。所述裝置在超精密光學元件上實現納米級精度的無損傷加工方面具有重要的應用前景。
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