本發明涉及一種表征薄膜殘余應力的方法,包括:采用薄膜/襯底結構的樣片,控制激光器發射出一定頻率和能量的短脈沖激光束,在樣片表面匯聚成線性激光束,樣片表面產生超聲表面波;壓電傳感器探測,并采集離散時域電壓信號;得到實驗頻散曲線;建模并得到無殘余應力狀態下的薄膜/基底模型理論頻散曲線;將實驗頻散曲線與理論頻散曲線進行比較,定性確定樣片薄膜殘余應力的大小排列。本發明可以快速、無損檢測薄膜殘余應力。
聲明:
“表征薄膜殘余應力的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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