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表征薄膜殘余應力的方法

751   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:51
本發明涉及一種表征薄膜殘余應力的方法，包括：采用薄膜/襯底結構的樣片，控制激光器發射出一定頻率和能量的短脈沖激光束，在樣片表面匯聚成線性激光束，樣片表面產生超聲表面波；壓電傳感器探測，并采集離散時域電壓信號；得到實驗頻散曲線；建模并得到無殘余應力狀態下的薄膜/基底模型理論頻散曲線；將實驗頻散曲線與理論頻散曲線進行比較，定性確定樣片薄膜殘余應力的大小排列。本發明可以快速、無損檢測薄膜殘余應力。
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