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用于芯片檢測的雙點激光顯微檢測裝置

892   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:06
本實用新型公開了一種用于芯片檢測的雙點激光顯微檢測裝置，屬于光學工程/無損檢測領域。包括雙路激光模組、轉接環、光學合路單元、紅外CCD、照明光源、顯微鏡、可調節支架、樣品臺、旋轉臺、X?Y位移臺和基座等。雙路激光模組由兩臺激光器組合而成，激光模組通過轉接環與光學合路單元鏈接并固定，模組中的兩路激光通過光學合路單元的整形、偏轉和合束后進入顯微鏡；顯微鏡和光學合路單元通過可調節固定支架組合，紅外CCD和照明光源分別與光學合路單元、顯微鏡連接，以提供所述裝置的顯微成像和照明功能；該實用新型通過實現雙路激光的整形、偏轉和調節，可進行芯片等微結構微器件的快速掃描、精確檢測。
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