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激光無損表征二氧化硅薄膜殘余應力的方法

1076   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:04
本發明涉及一種表征二氧化硅薄膜殘余應力的方法，包括下列步驟：獲得包含殘余應力的聲表面波理論計算模型；將二氧化硅樣片的密度、泊松比、厚度、彈性常數在內的參數代入理論計算模型中，得到不同殘余應力下表面波在二氧化硅薄膜中傳播的理論頻散曲線；二氧化硅薄膜樣片，控制激光器發射出一定頻率和能量的短脈沖激光束，經過光學調整系統最終在樣片表面匯聚成線性激光束，在樣片表面產生超聲表面波；表面波在樣片表面傳播一定距離后被壓電傳感器探測；對采集到的離散時域電壓信號進行包括傅立葉變換在內的數學處理，從而得到實驗頻散曲線；找出與實驗頻散曲線最匹配的理論頻散曲線，該曲線的殘余應力值即為所測二氧化硅薄膜樣片的殘余應力值。
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