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基于平移差分的微結構線寬顯微無損測量方法

955   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:59
本發明公開了一種基于平移差分的微結構線寬顯微無損測量方法，解決了顯微成像法測量微結構線寬受限于成像衍射極限，測量精度低的問題。首先采集待測微結構的顯微圖像；接著將微結構沿線寬方向平移一段微小距離，再次采集待測微結構的顯微圖像；然后將兩次采集的顯微圖像相減得到差分圖像；再以高斯函數為目標對差分圖像的光強數據進行數據擬合，以高斯函數極值點定位兩側差分脈沖的準確位置；最后根據兩側極值點的精確位置得到高精度的線寬測量結果。本發明的線寬測量方法保留顯微成像法直觀、快速、無損測量的優點，而且還突破了顯微成像衍射極限，同時減少照明不均和成像系統噪聲的影響，能夠提高線寬測量精度。
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“基于平移差分的微結構線寬顯微無損測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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