本發明提供一種無損工件檢驗方法,其中將一電磁調制強度的激勵光束導向工件表面的一個檢驗點,并對檢驗點發射的熱輻射探測和求算。激勵光束被周期性地導向不同方向,每一方向都指向工件表面不同的檢驗點。另外,提供一種用于無損工件檢驗的裝置,包括一個發射電磁激勵光束的激勵源,一個調制激勵光束強度的并將其導向工件表面一個檢驗點的光學裝置,還包括一個探測由檢驗點發射的熱輻射的探測裝置。該光學裝置包括調制裝置,用于將激勵光束周期性地偏轉至不同方向,和一個定向裝置,用于將每一方向上的激勵光束導向工件表面的一個不同檢驗點。
聲明:
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