本發明公開了一種衍射裝置和無損檢測工件內部晶體取向均勻性的方法,裝置包括X射線照射系統,其對被測樣品的測量部位照射X射線;X射線探測系統,其同時對X射線由被測樣品的多個部位衍射而形成的多條衍射X射線進行探測,來測量被測樣品的X射線衍射強度分布;探測的X射線為短波長特征X射線;X射線探測系統為陣列探測系統;方法步驟包括:選短波長特征X射線,對待測樣品進行織構分析,確定待測衍射矢量Q;獲取被測樣品相應部位的X射線衍射強度。本發明可以快速無損地檢測厘米級厚度工件在其整個厚度方向的內部晶體取向均勻性,可以在生產線上實現厘米級厚度工件在其運動軌跡的整個厚度方向的內部晶體取向均勻性的在線檢測與表征。
聲明:
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