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金和鐵摻雜的負溫度系數單晶硅熱敏電阻

1004   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:56:59
本發明涉及一種金和鐵摻雜的負溫度系數單晶硅熱敏電阻，該熱敏電阻以金和鐵的金屬鹽作為擴散源，采用開管涂源式高溫氣相擴散的方法，將金和鐵兩種雜質擴散進N型單晶硅中，利用金和鐵在硅中形成補償能級的特性制備出單晶硅熱敏材料，再通過化學鍍鎳電極、劃片、封裝制備成高B值單晶硅負溫度系數熱敏電阻。將得到的熱敏電阻進行電學性能測試，其電學參數R25℃=84KΩ-129KΩ，B25℃/50℃=6240K-6680K。
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