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柔性薄膜式自驅動多功能傳感器及其制備方法

724   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:28:33
本發明涉及一種柔性薄膜式自驅動多功能傳感器，包括柔性基底、氣體導管、多功能敏感薄膜、叉指電極和彈性膜。該自驅動多功能傳感器將能量收集單元與氣體敏感單元結合在一起，利用通入氣體時氣壓的增大使壓電基多功能敏感薄膜產生形變，從而為自身提供能量，以自發主動地測量通入待測氣體的濃度與壓強。該傳感器采用了中心對稱式器件結構以最大化提升無序分布的靜電紡絲的換能效率，同時利用氣體化學吸附與壓電效應的耦合作用，將氣體吸附過程主動地加載到壓電納米發電機的輸出電信號中，因此不需要額外的供電系統即可實現對待測氣體濃度和氣壓的同時測量。本發明提出的傳感器制備簡單、成本低廉、結構新穎、實用性高且充分利用了氣體流動的動能。
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