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多晶硅還原爐內硅棒生長速率預估模型

899   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:14:37
本發明公開了一種多晶硅還原爐內硅棒生長速率預估模型，包括數據采集及預處理模塊，用于通過傳感器采集與硅棒生長速率相關的數據，并對采集的數據進行數據清洗；數據集篩選模塊，用于對數據采集模塊經過數據采集、數據清洗后的數據集進行篩選，得到訓練集和測試集；訓練和評估模塊，用于對梯度提升決策樹模型進行訓練，利用平均相對誤差以及合格率對模型進行評估，待預測模塊，用于輸入待預測特征向量；預測結果模塊，用于將所述的待預測特征向量輸入到預測模型中，輸出預測結果。本發明摒棄了傳統的理論研究中復雜化學反應對生長速率的影響，不用考慮繁復的化學反應，實現了對多晶硅生長速率的預估，為提高生產效率，縮短生產周期提供指導。
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“多晶硅還原爐內硅棒生長速率預估模型” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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