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3D模塊的解剖方法

1095   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:50
本發明公開了一種3D模塊的解剖方法，對3D模塊內部結構進行分析，對3D模塊進行局部去除，將3D模塊內部設置的塑封器件與3D模塊進行分離，然后采用激光開封機及化學開封機，將芯片表面的塑封材料去除，完成3D模塊的解剖，用于失效分析及DPA工作中的鍵合強度及芯片粘接分析。本發明解剖方法解剖的各器件框架完整，芯片粘接及鍵合完整，可有效擴展3D模塊的分析能力。
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聲明：
“3D模塊的解剖方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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