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基于(111)硅的微機械加速度傳感器及制造方法

824   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:32:30
一種基于(111)硅的微機械加速度傳感器及其制造方法,該傳感器是由一片(111)單晶硅基板和上、下基板各一片構成,(111)硅基板上的慣性質量塊是由同一基板上的至少一對彈性懸梁連接到固定邊框,在外來加速度作用下可作垂直于基板表面方向的運動,并引起其與上、下基板上的平板電極間的電容發生變化,以檢測外來加速度。所述彈性懸梁相對于(111)硅基板為上下對稱,其制造和尺度控制是由硅化學各向異性腐蝕和高深寬比干法刻蝕工藝組合實現的,(111)硅基板與上基板、下基板通過對準鍵合連接。該傳感器實現閉環檢測,具有結構對稱性好、工藝可控性好、檢測精度高、易于多軸集成等特點,應用于石油地震勘探等領域。
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