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用于倒裝芯片器件的開封方法

1189   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:31
本發明公開了一種用于倒裝芯片器件的開封方法，包括：采用立體顯微鏡對待開封器件進行觀察，測量其外觀尺寸、封裝厚度，觀察其封裝形式、封裝材料；選擇掃描聲學顯微鏡、微焦點X射線檢測儀、CT檢測儀其中的一種或多種對待開封器件進行觀察并記錄；針對器件類型，根據上述檢查結果，確定器件的開封方案；采用鑲嵌磨拋或外殼啟封對待開封器件進行開封前預處理；采用掩膜刻蝕法、化學腐蝕法、剖面鏡檢法其中的一種或多種完成待開封器件的化學開封；對開封后器件的內部工藝參數進行檢查評價分析。本發明提出的用于倒裝芯片器件的開封方法，相比較傳統的采用芯片倒裝工藝器件的開封方法，大大提升了開封質量，保障了開封后硅片的完成性和電特性。
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聲明：
“用于倒裝芯片器件的開封方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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