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AlGaN基MSM結構日盲型紫外探測器及其制備方法

1022   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:08
本發明公布了一種AlGaN基MSM結構日盲型紫外探測器及制備方法，結構包括圖形化藍寶石襯底、ZnO緩沖層、非故意摻雜Al0.3Ga0.7N光吸收層、第一Ni/Au叉指電極、第二Ni/Au叉指電極。AlGaN基MSM結構日盲型紫外探測器制備方法包括：首先對圖形化藍寶石襯底進行清洗，采用金屬有機物化學氣相淀積技術在圖形化藍寶石襯底上生長獲得外延結構ZnO緩沖層和非故意摻雜Al0.3Ga0.7N光吸收層，在非故意摻雜Al0.3Ga0.7N光吸收層和圖形化藍寶石襯底上均先后濺射金屬Ti層和Au層，最后整個器件在300℃的N2氛圍中快速熱退火200s。本發明的有益效果：采用圖形化藍寶石襯底，相比普通的藍寶石襯底，可以降低外延層材料的位錯密度，提高外量子效率；采用ZnO緩沖層技術，可以獲得極低暗電流。
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