合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 與硅光波導集成的石墨烯異質結光探測器的制備方法

與硅光波導集成的石墨烯異質結光探測器的制備方法

944   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:27:47
本發明公開了與硅光波導集成的石墨烯異質結光探測器的制備方法，步驟為：1）對SOI襯底的頂層硅進行電子束光刻和刻蝕，在其上表面形成硅光波導；2）采用等離子增強化學氣相沉積（PECVD）方法在SOI襯底和硅光波導上覆蓋一層二氧化硅層；3）采用PECVD方法，在二氧化硅層之上生長一層或數層石墨烯層，同時可以通過化學摻雜的方法，改變所述石墨烯層的光電特性；4）采用PECVD方法或機械剝離的方法，在石墨烯層上制備一層二硫化鉬層；5）采用電子束蒸發或磁控濺射的方法分別在石墨烯層和二硫化鉬層上淀積一層電極層。本發明中的器件結構可以實現與硅集成的快速、寬帶光信號探測，具有低成本、高集成度的特點，有望應用于集成化的寬帶光傳輸系統。
登錄解鎖全文
聲明：
“與硅光波導集成的石墨烯異質結光探測器的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：基于鈰和錳摻雜的鎂鋁尖晶石熒光溫度傳感材料及其在溫度測量中的應用
下一個：監測利用含有一種或多種烴的反應性氣體的工藝過程的方法

與 “與硅光波導集成的石墨烯異質結光探測器的制備方法” 相關技術

? 具有高浸潤性的耐高溫鋰離子電池隔膜及其制備方法
? 鍍錫銅線制備用銅絲處理裝置
? 金屬礦山井下超前探水的方法
? 金屬礦山井下隨行供電裝置及掘進設備
? 金屬礦山富水巖層中深豎井水害綜合治理方法
? BOPP邊條回收破碎機進料裝置
? 用于立軸沖擊破碎機的電機座調整裝置
? 稀土硅合金生產用碎粒裝置
? 輥式破碎機壓輥輥面修復裝置
? 擺動對輥破碎機

相關化學分析設備推薦

空氣中有害物質采樣儀
金屬材料正反轉彎曲試驗機
高溫蠕變持久試驗機
拉力試驗機
剪切測試機
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?具有高浸潤性的耐高溫鋰離子電池隔膜及其制備方法
?鍍錫銅線制備用銅絲處理裝置
?金屬礦山井下超前探水的方法
?金屬礦山井下隨行供電裝置及掘進設備
?金屬礦山富水巖層中深豎井水害綜合治理方法
?BOPP邊條回收破碎機進料裝置
?用于立軸沖擊破碎機的電機座調整裝置
?稀土硅合金生產用碎粒裝置
?輥式破碎機壓輥輥面修復裝置
?擺動對輥破碎機

報名參會
更多+

第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025年07月23日 ~ 26日
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日
2025賀蘭山新材料高端論壇
2025賀蘭山新材料高端論壇
2025年07月24日 ~ 26日
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025年08月01日 ~ 03日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX