本方法適用于諸如膠接或化學氣相滲透或沉積的工藝,所述工藝是在爐中實行的,且所述方法包括:設定爐的操作參數;引入試劑氣體到爐中,試劑氣體含有至少一種氣態烴;和從爐中抽出含有試劑氣體反應副產物的廢氣。廢氣要在可吸收存在于廢氣中的焦油的油中對其進行洗滌,關于工藝的進程的信息是通過測量被油吸收的焦油數量而得到。
聲明:
“監測利用含有一種或多種烴的反應性氣體的工藝過程的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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