本發明公開了一種基于納米壓電材料的實時血壓監測傳感器,制備步驟如下:1)利用化學氣相沉積法,在硅襯底上定位橫向生長氧化鋅納米線網結構;2)在納米線網結構的兩端制備電極和引線;3)利用甩膠法在納米線網結構上涂覆一層硅膠作為保護層和振動傳導層;4)將帶有氧化鋅納米線網的硅膠從硅襯底上剝離下來。本發明將半導體壓電材料氧化鋅納米線網作為器件的核心傳感材料,其響應速度高,能耐較高溫度,本發明通過利用橫向生長納米線網具有壓電特性并能將壓力實時地轉化為電信號的特性,設計了一款2×2分布式壓力信號傳感器,本芯片可以安裝在床墊中,實施監測夜晚睡眠狀態,特別是對于老年人夜間身體健康實時檢測具有重要的意義。
聲明:
“基于納米壓電材料的實時血壓監測傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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