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太陽能電池晶圓片表面金屬離子測試方法

740   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:20
本發明涉及一種太陽能電池晶圓片表面金屬離子含量的測試方法，利用由1%的氫氟酸（HF）、4％的雙氧水（H2O2）和95%的水（H2O）組成的提取試劑進行太陽能電池晶圓片表面金屬離子的提取，配合Agilent公司Agilent7700s系列電感耦合等離子體質譜儀對太陽能電池晶圓片表面超微量金屬含量進行檢測，利用硅片的解理特性將太陽能電池晶圓片制成矩形，并完全浸泡在提取液中，保證了硅片表面金屬離子收集的充分性，相對傳統的手動VPD即化學氣相分解進行太陽能電池晶圓片表面金屬離子的前處理方法，利用完全浸泡的方式能獲得更加穩定的回收率，提高測試精度，本發明能實現太陽能電池晶圓片全元素、超微量的檢測，檢出限均低于1×109atoms/cm2。
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