本實用新型涉及一種太陽能電池片生產及檢測系統,包括依次相連的清洗系統、制絨系統、堿洗系統、酸洗系統、磷擴散系統、周邊刻蝕系統、去PSG系統、等離子化學氣相沉積系統、燒結系統和檢測系統,所述制絨系統、去PSG系統和燒結系統連接有機廢氣凈化裝置,所述磷擴散系統和周邊刻蝕系統均連接酸性廢氣凈化裝置,所述等離子化學氣相沉積系統連接堿性廢氣凈化裝置,所述有機廢氣凈化裝置、酸性廢氣凈化裝置和堿性廢氣凈化裝置的出氣口處均設有氣體檢測裝置;本生產系統結構合理,對生產中產生的各類廢氣設計了相應的處理措施,凈化后的外排廢氣可滿足國家相關排放標準要求;且檢測裝置的設置可有效檢測太陽能電池片的缺陷,保證了太陽能電池片的品質。
聲明:
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