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具有空檢測能力的基于襯里的液體儲存和分配系統

945   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:08:34
本發明公開了用于儲存和分配化學試劑和組合物,例如用于制造微電子器件產品的高純液體試劑和化學機械拋光劑的流體供應系統,該流體供應系統具有在分配操作期間在所容納的液體處于或接近耗盡時檢測空或接近空的情形的能力。本發明描述了采用空檢測檢測布置的流體遞送系統,其包括壓力傳感器,用于監控在供料包裝和液壓伺服分配泵中間分配的材料,或監控在周期進度表上被補充的分配器中的分配室補充次數,以將材料從分配器流到利用所分配的材料的下游設備。
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“具有空檢測能力的基于襯里的液體儲存和分配系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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