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熱絲化學氣相沉積系統

835   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:28
本申請公開了一種熱絲化學氣相沉積系統，屬于金剛石薄膜制備領域，其包括氣相沉積裝置、熱輻射測溫儀和安裝支架，氣相沉積裝置包括反應腔室、熱絲架以及襯底，反應腔室上開設有觀察窗，熱輻射測溫儀的探頭發射的輻射線透過觀察窗照射于反應腔室內，安裝支架包括連接桿、球頭桿和轉動座，連接桿的一端連接反應腔室，另一端連接球頭桿一端的球體，轉動座的一端形成中空腔體，球體轉動地設置在中空腔體內，轉動座的另一端連接熱輻射測溫儀，從而熱輻射測溫儀的探頭能夠繞著球體的球心在球體的周面上轉動，實現輻射線在反應腔室內移動，方便使用者測量襯底表面和熱絲架的熱絲表面的各個位置的溫度，減小了測溫盲區。
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聲明：
“熱絲化學氣相沉積系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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