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用于晶體化學機械研磨減薄的裝置及其使用方法

1098   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:26
本發明涉及機械研磨減薄技術領域，更具體而言，涉及一種用于鈮酸鋰、石英、藍寶石等晶體的化學機械研磨減薄的裝置及其使用方法；提供一種晶體的化學機械研磨減薄的裝置及激光反射校準法，實現對晶體的上下兩個面的平行度的高精度校準，減薄后晶體超薄，厚度能達到幾十甚至十幾個微米，平行度誤差1微米以內，校準精度高、易操作；包括：第一固定片、微分頭、載物塊、修盤環、膠皮墊、第二固定片、加工晶體、有孔校準玻璃和第三固定片，所述微分頭通過自身的螺紋與第一固定片固定，所述有孔校準玻璃通過第三固定片與修盤環固定；本發明主要應用于光電探測器敏感層制作、聲光器件壓電換能器制作等超精密晶體加工相關方面。
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