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應用于化學氣相沉積設備的插銷高度校準工具及校準方法

1010   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:26
本發明公開了一種應用于化學氣相沉積設備的插銷高度校準工具及校準方法，包括固定環，所述固定環內側壁上開設有環形槽，環形槽內活動連接有轉動環，轉動環的內壁固接有固定滑軌，固定滑軌上滑動有調節滑塊，調節滑塊上螺紋連接有調節螺栓，調節滑塊的底部設有兩個卡扣機構并通過兩個卡扣機構可拆卸安裝有高度表，此應用于化學氣相沉積設備的插銷高度校準工具，區別于現有技術，對高度表拆裝方便，轉動環可帶動固定滑軌旋轉，同時移動調節滑塊處于固定滑軌上的位置，從而可以測量加熱器插銷中間任意點的數據以及加熱器插銷在腔體內的高度，減少破片以及停機時間，校準加熱器插銷高度，可以計算加熱器插銷中心點與四邊點的水平差值。
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“應用于化學氣相沉積設備的插銷高度校準工具及校準方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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