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原位固-液相界面化學反應的自對準裝置

1020   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:13
本發明公開了一種原位固-液相界面化學反應的自對準裝置，包括間隔層(300)、第一絕緣膜(510)、第二絕緣膜(520)以及兩側對應密封結合的上芯片(100)和下芯片(200)；上芯片(100)具有朝向下芯片(200)凸起的凸臺(110)，下芯片(200)具有朝向上芯片(100)下凹的凹槽(210)；間隔層(300)夾設于凸臺(110)表面的第一絕緣膜(510)和凹槽(210)內壁的第二絕緣膜(520)之間。該自對準裝置可應用于常規TEM樣品臺，免除了特制樣品桿的需求，大幅降低了測試成本；同時，待測液體量較少，可防止第一絕緣膜(510)和/或第二絕緣膜(520)破裂對其他部件的損壞。
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“原位固-液相界面化學反應的自對準裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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