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原位固-液相界面化學反應的自對準裝置

1020   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:01:13
本發明公開了一種原位固-液相界面化學反應的自對準裝置,包括間隔層(300)、第一絕緣膜(510)、第二絕緣膜(520)以及兩側對應密封結合的上芯片(100)和下芯片(200);上芯片(100)具有朝向下芯片(200)凸起的凸臺(110),下芯片(200)具有朝向上芯片(100)下凹的凹槽(210);間隔層(300)夾設于凸臺(110)表面的第一絕緣膜(510)和凹槽(210)內壁的第二絕緣膜(520)之間。該自對準裝置可應用于常規TEM樣品臺,免除了特制樣品桿的需求,大幅降低了測試成本;同時,待測液體量較少,可防止第一絕緣膜(510)和/或第二絕緣膜(520)破裂對其他部件的損壞。
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