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用于金屬有機物化學沉積設備的加熱裝置

839   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:54
本發明公開了一種用于金屬有機物化學沉積設備的加熱裝置,包括:至少兩段爐絲,該至少兩段爐絲布置在同一加熱平面內,且每一段爐絲連接到各自的電極;鄰近所述加熱平面布置在至少兩段爐絲下方的測溫計,用于探測每一段爐絲的加熱溫度;和溫度控制器,該溫度控制器基于測溫計測得的溫度,分別控制施加到每一段爐絲的加熱功率以分別控制該至少兩段爐絲的加熱溫度,使該至少兩段爐絲的加熱溫度均勻化。根據本發明的金屬有機物化學沉積設備的加熱裝置采用多段爐絲加熱,通過每段爐絲加熱功率的獨立控制和/或爐絲形狀、尺寸的設計,實現大面積加熱溫度的均勻可控,從而提高了外延材料的質量。另外,采用水冷電極和加熱器屏蔽罩,進一步提高了加熱的穩定性和安全性。
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