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等離子體增強化學氣相沉積設備

1000   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:52
本實用新型公開一種等離子體增強化學氣相沉積設備，包括：真空腔體(10)，設置有多個加熱元件；加熱臺(20)，設置在真空腔體的內部；勻氣裝置(30)，設置在真空腔體的內部，并位于加熱臺的上方，且朝向加熱臺出氣；以及進氣裝置(40)，設置在真空腔體的外部，并與勻氣裝置相通，所述等離子體增強化學氣相沉積設備還包括：通孔(11)，設置所述真空腔體(10)的位置高于所述加熱臺(20)的腔壁上，并且通過透明密封件(50)而與真空腔體實現密封連接，以及紅外熱像儀(60)，其設置在真空腔體的外側，并經由透明密封件對加熱臺的溫度進行探測。本實用新型的等離子體增強化學氣相沉積設備的操作簡單，且測量范圍比較廣，測量結果更加準確。
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