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用于電化學傳感器的高表面積電極

711   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:52
本發明涉及與基于微機電系統(MEMS)的電化學傳感器相關的裝置和相關聯的制造方法，該裝置和相關聯的制造方法包括接觸布置在基板上的兩個或更多個電極的電解質，以及設置在傳感器的至少感測電極的頂部上的高表面積電極。高表面積電極的各種實施方案可增大由基于MEMS的電化學傳感器響應于一種或多種目標化學物質或氣體而產生的電流或電勢，并且允許制造和操作較小的電化學傳感器。電極可電耦合到控制和測量電路。在一些示例中，控制和測量電路可形成于同一基板上。
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“用于電化學傳感器的高表面積電極” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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