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用于供給化學溶液的系統與方法

695   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:51
本發明實施例涉及用于供給化學溶液的系統與方法。一種系統包含化學品存儲槽、管線、泵、第一靜電探針及控制單元。所述管線連接到所述化學品存儲槽。所述泵連接到所述管線且經配置以將化學溶液從所述化學品存儲槽泵送到所述管線中。所述第一靜電探針耦合到所述泵且經配置以測量所述泵的靜電電壓。所述控制單元耦合到所述第一靜電探針且經配置以從所述第一靜電探針獲得靜電電壓的測量。
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“用于供給化學溶液的系統與方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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