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實現化學機械研磨過程中拋光液溫度控制的系統

769   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:49
本發明公開了一種實現化學機械研磨過程中拋光液溫度控制的系統，包括第一溫度探測器、第二溫度探測器、第三溫度探測器、保溫套、溫度控制器和主控制器，第一溫度探測器和第二溫度探測器分別設于拋光液存放容器內和拋光液存放容器的輸出端，保溫套包裹在拋光液存放容器輸出端連接的輸出管道的外表面，第三溫度探測器設在研磨墊附近，溫度控制器設在拋光液存放容器供給端，第一溫度探測器、第二溫度探測器、第三溫度探測器和溫度控制器分別與主控制器連接。本發明實現化學機械研磨過程中拋光液溫度控制的系統實現了晶圓在化學機械研磨過程中的溫度控制，提高了晶圓的產出率和穩定性。
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聲明：
“實現化學機械研磨過程中拋光液溫度控制的系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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