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化學溶液沉積法制備Sm2O3薄膜的方法

937   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:45
本發明公開一種化學溶液沉積法制備Sm2O3薄膜的方法，包括：將分析純的Sm(NO3)3·6H2O溶解于乙二醇甲醚溶劑中，配制成Sm3+濃度為0.1～0.5mol/L的溶液；待溶解完全后，向其中加入醋酸酐溶劑，室溫下攪拌均勻形成透明均勻穩定的淡黃色溶液；滴加適量配制好的前驅液于基板表面，并打開勻膠機以旋涂鍍膜至均勻；將勻膠后得到的濕膜放在烤膠板上烘干后放入小型快速退火爐內于200～500℃進行退火；退火完成后隨爐冷卻至室溫，再重復旋涂退火工藝，直至Sm2O3薄膜達到所需厚度。該反應的原料易得且成本低，工藝設備簡單，溶膠粒徑均勻，能耗低，且該反應在常溫常壓下進行，安全性好，可行性強。
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“化學溶液沉積法制備Sm2O3薄膜的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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