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基于化學極化場效應的分子識別傳感器的設計與制作

1107   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:48
本發明公開了一種化學極化場效應分子識別傳感器的設計及制作工藝。除在器件結構、版圖設計和制造工藝方面的創新外,把物理原理與分子自組裝技術和工藝相結合,產生新的檢測技術和方法?；诨瘜W極性分子和生物分子具有極性并可誘導硅基底產生極性的特點,通過分子自組裝技術和LB膜技術將極性分子或生物分子組裝于場效應器件的柵介質上成為分子敏感膜柵,該分子敏感膜柵與柵介質材料交換電子,使柵介質材料發生極化,從而改變了柵介質材料中固定電荷的分布和數量。另外,這種自組裝結構的分子敏感膜柵與半導體硅之間還存在功函數差。柵介質中固定電荷數量及材料功函數差的改變將引起硅電場效應器件表面溝道的導電特性發生變化。利用該變化可對極性分子、生物分子實現靈敏快速檢測。
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聲明：
“基于化學極化場效應的分子識別傳感器的設計與制作” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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