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電極表面具有納米凹凸結構的電化學傳感器及其制備方法

1089   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:24
本發明屬于傳感器技術領域,具體為一種用于電化學檢測的電極表面具有納米凹凸結構的電化學傳感器及其制備方法。該傳感器的電極設計制作成表面具有三維結構的電極,具體在襯底上使用微電子工藝制作Cu/Au/Ti薄膜,通過熱退火使Cu/Au界面處金原子和銅原子強烈擴散,并結晶;再通過稀酸腐蝕,去掉薄膜表面的Cu原子及其銅的化合物,形成具有納米級別凹凸結構的界面。該電極具有較大的表面積,納米結構表面的電子極其活躍,提高了電極的靈敏度,且適應于快速檢測。本發明可以廣泛用于生物醫藥等多領域的檢測。
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