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化學機械研磨方法

1061   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:23
本發明涉及半導體生產和加工領域，更具體地說，涉及一種化學機械研磨方法。本發明提供了一種化學機械研磨方法，用于去除晶圓表面的金屬膜，包括步驟：施加第一下壓力，將晶圓表面的銅膜由初始厚度拋光至1000～2500；施加第二下壓力，拋光所述晶圓5～10s；施加第三下壓力，并采用光學終點檢測法將剩余的銅膜拋光至50～100；其中，光學終點檢測法監測晶圓表面的光學參數，當光學參數出現拐點時，即刻停止對晶圓拋光，結束化學機械研磨工藝。采用本發明提供的技術方案，能夠在晶圓表面留存極薄厚度的銅膜，為后續無應力拋光工藝留下了操作空間。
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聲明：
“化學機械研磨方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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