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用于檢測半導體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測方法

894   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:56:05
本發明涉及半導體行業中SO2濃度的檢測領域，公開一種用于檢測半導體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測方法，包括：收集待檢測氣體，將收集后的待檢測氣體通過四電極電化學二氧化硫傳感器依據預定的檢測策略進行多次檢測，以獲取多個氣體濃度檢測值；根據多個氣體濃度檢測值獲取待檢測氣體濃度值。這里通過將待檢測氣體收集至收集袋中，并通過四電極電化學二氧化硫傳感器對待檢測氣體的濃度進行檢測，四電極電化學二氧化硫傳感器檢測精度高，并且為了進一步提高檢測精度，這里依據設定的檢測策略對待檢測氣體進行多次檢測，并將獲取的待檢測氣體的檢測值經過一系列的計算得到最終的待檢測氣體濃度值。
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“用于檢測半導體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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