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基于單晶硅納米薄膜光電器件的氣體與化學物質傳感系統的制備方法

705   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:56:02
本發明屬于柔性光電子傳感技術領域，具體為一種基于高靈敏單晶硅納米薄膜光電子器件的氣體與化學物質探測傳感系統的制備方法。本發明首先采用整體轉移的工藝，將單晶硅納米薄膜光電三極管轉移到柔性的聚酰亞胺襯底上實現高靈敏的柔性光電子器件。以此器件為平臺，在器件表面修飾在特定氣體或化學物質作用下能發生光學參數變化的敏感材料，通過分析系統吸附化學物質后光電信號的變化，實現氣體與化學物質的探測傳感。本發明作為傳統傳感器的有力補充，為未來可集成于芯片上的非接觸式氣體與化學物質的傳感探測系統的研制奠定了基礎。
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“基于單晶硅納米薄膜光電器件的氣體與化學物質傳感系統的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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