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用于化學電鍍機臺的化學溶劑泄漏報警系統

1064   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:55:29
本實用新型提供一種用于化學電鍍機臺的化學溶劑泄漏報警系統，包括裝設于各制程室底盤的內底面，用于在探測到微量化學溶劑泄漏時發送第一信號的多個第一探測器；裝設于與各制程室底盤具有預設高度的位置，用于在探測到大量化學溶劑泄漏時發送第二信號的多個第二探測器；用于在接收到第一信號時指示出與該第一信號對應的泄漏點并進行報警的控制面板；以及用于在接收到第二信號時對所述化學電鍍機臺進行緊急停機操作的緊急開關裝置。本實用新型在檢測到微量化學泄漏時可以指示出泄露點并進行報警，檢測到大量的化學泄露時進行停機操作，可以大大地降低由于不必要的停機而導致晶圓出現產品缺失以及良率下降，有利于提高生產效率并降低生產成本。
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