自適應束斑X射線(xiàn)衍射儀

權利要求書(shū)： 1.一種自適應束斑X射線(xiàn)衍射儀，所述衍射儀包括：X射線(xiàn)源系統(1)，X射線(xiàn)探測器(6)，電子學(xué)系統(7)，計算機(8)，X射線(xiàn)濾波片(9)，毛細管微會(huì )聚X光透鏡(10)，索拉狹縫(11)，高精度XYZθ1?θ2五維運動(dòng)系統(12)，光管運動(dòng)系統(13)，運動(dòng)控制系統(14)，閉環(huán)水冷系統或冷卻風(fēng)扇(15)和CCD相機(16)；其中，所述X射線(xiàn)濾波片(9)安裝在所述X射線(xiàn)源系統(1)和所述毛細管微會(huì )聚X光透鏡(10)之間；所述CCD相機(16)的軸線(xiàn)通過(guò)樣品的中心，置于所述高精度XYZθ1?θ2五維運動(dòng)系統(12)左下側；所述X射線(xiàn)源系統(1)和所述毛細管微會(huì )聚X光透鏡(10)安裝在所述光管運動(dòng)系統(13)上置于所述高精度XYZθ1?θ2五維運動(dòng)系統(12)左側，其特征在于根據編寫(xiě)的程序自動(dòng)測量所述CCD相機中觀(guān)測到的樣品待測點(diǎn)的內切圓直徑，根據內切圓直徑來(lái)自適應的控制所述光管運動(dòng)系統沿軸線(xiàn)運動(dòng)使得照射X射線(xiàn)束斑直徑在0.2mm～2mm之間變化，此束斑既能滿(mǎn)足微米量級的微區分析需求也能滿(mǎn)足毫米量級的常規分析需求；所述毛細管微會(huì )聚X光透鏡(10)將來(lái)自所述X射線(xiàn)源系統(1)的X射線(xiàn)會(huì )聚成準平行X射線(xiàn)；待測樣品置于所述高精度XYZθ1?θ2五維運動(dòng)系統(12)的樣品臺上；所述準平行X射線(xiàn)的中心線(xiàn)與所述高精度XYZθ1?θ2五維運動(dòng)系統(12)樣品臺表面的夾角為θ1；所述X射線(xiàn)探測器(6)和所述索拉狹縫(11)安裝在所述高精度XYZθ1?θ2五維運動(dòng)系統(12)的θ2轉角上，所述X射線(xiàn)探測器(6)鈹窗的中心線(xiàn)經(jīng)過(guò)所述索拉狹縫(11)的中心并與所述準平行X射線(xiàn)的中心線(xiàn)的夾角為θ2；所述準平行X射線(xiàn)的中心線(xiàn)、所述X射線(xiàn)探測器(6)鈹窗的中心線(xiàn)交匯于所述高精度XYZθ1?θ2五維運動(dòng)系統(12)樣品臺的圓心，所述樣品的待測點(diǎn)位于所述高精度XYZθ1?θ2五維運動(dòng)系統(12)樣品臺的圓心；所述CCD相機(16)與所述計算機(8)電連接；所述X射線(xiàn)探測器(6)依次與所述電子學(xué)系統(7)，所述計算機(8)電連接；所述運動(dòng)控制系統(14)分別與所述高精度XYZθ1?θ2五維運動(dòng)系統(12)，所述光管運動(dòng)系統(13)和所述計算機(8)電連接。2.如權利要求1所述一種自適應束斑X射線(xiàn)衍射儀，其特征在于，采用毛細管微會(huì )聚X光透