權利要求書： 1.一種適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉移裝置，其特征在于：由用于封鎖待測樣品的密封腔、用于對密封腔進行抽真空的閥門機構、用于開啟或關閉密封腔的動力機構和用于承載掃描電鏡樣品釘的承載托架（2）組成；所述密封腔包括一個由固定底板（10）和轉移裝置腔體（5）一體銑制的結構整體，所述轉移裝置腔體（5）位于所述固定底板（10）的前側面，且所述轉移裝置腔體（5）的前部為敞口，所述轉移裝置腔體（5）的敞口邊緣的前側面上設置有一圈密封條（3），所述轉移裝置腔體（5）的敞口上設置有一塊可開合的密封蓋板（1），且當所述密封蓋板（1）蓋緊在所述轉移裝置腔體（5）的敞口上時，所述密封蓋板（1）的后側面與所述密封條（3）緊密貼合；所述閥門機構包括一個針閥（6），所述針閥（6）安裝在所述固定底板（10）的后側面，且所述針閥（6）的一端與穿過所述固定底板（10）后與所述轉移裝置腔體（5）連通；所述動力機構包括用于控制所述密封蓋板（1）開合的傳動部分以及用于帶動所述傳動部分運動的驅動部分，所述驅動部分與所述固定底板（10）連接，所述傳動部分與所述密封蓋板（1）連接；所述承載托架（2）水平安裝在所述密封蓋板（1）后側面的上部，所述承載托架（2）上設置有用于承托小型掃描電鏡所用的半英寸釘式樣品臺的樣品釘放置孔（11），當所述密封蓋板（1）打開時，所述承載托架（2）完全伸出所述轉移裝置腔體（5），當所述密封蓋板（1）蓋合時，所述承載托架（2）完全位于所述轉移裝置腔體（5）內，且所述承載托架（2）的上表面與所述轉移裝置腔體（5）的內壁頂部之間僅存在細微的間距。2.根據權利要求1所述的適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉移裝置，其特征在于：所述固定底板（10）和所述轉移裝置腔體（5）采用鑄造鋁合金材料并一體銑制成一個結構整體，且所述固定底板（10）和所述轉移裝置腔體（5）的壁厚均不小于4mm。3.根據權利要求1所述的適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉移裝置，其特征在于：所述密封條（3）為特氟龍材質的O型密封圈。4.根據權利要求1所述的適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉移裝置，其特征在于：所述針閥（6）為手動針閥或電動針閥，且所述針閥（6）與所述轉移裝置腔體（5）之間通過內、外螺紋結構實現連通，且位于所述固定底板（10）上的外螺紋結構采用堆焊或螺紋
聲明：
“適用于小型化掃描電鏡的樣品真空轉移裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：復納科學儀器(上海)有限公司
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2025年07月23日 ~ 26日 
