權利要求書： 1.一種掃描電子顯微鏡樣品防撞系統，其特征在于，包括：激光束發射模塊、CCD探測模塊、信號處理系統、運動控制反饋系統和控制中心；
所述激光束發射模塊安裝于掃描電子顯微鏡樣品室的側壁上，用來發射激光束；
所述CCD探測模塊安裝于與所述激光束發射模塊相對的樣品室側壁上，用來對所述激光束發射模塊發射的激光束穿過樣品室后進行接收；
所述信號處理系統對所述CCD探測模塊的信號進行分析，判斷樣品是否超出激光束限制高度；
所述運動控制反饋系統根據所述信號處理系統的判斷結果，控制承載樣品的樣品臺進行下一步動作；
所述控制中心對整個系統進行控制，使其能夠協調運轉。
2.根據權利要求1所述掃描電子顯微鏡樣品防撞系統，其特征在于，所述掃描電子顯微鏡樣品防撞系統包括一激光束發射模塊，所述激光束發射模塊安裝于樣品室側壁上，所述激光束發射模塊發射一激光束，所述激光束穿過樣品室側壁上的真空窗進入樣品室內。
3.根據權利要求1所述掃描電子顯微鏡樣品防撞系統，其特征在于，所述CCD探測模塊安裝于與所述激光束發射模塊相對的樣品室另一側壁上，所述激光束通過樣品室側壁上的真空窗照射到所述CCD探測模塊的探測面上。
4.根據權利要求1所述掃描電子顯微鏡樣品防撞系統，其特征在于，所述信號處理系統對所述CCD探測模塊的信號進行處理，判斷樣品是否超出激光束限位高度。
5.根據權利要求1所述掃描電子顯微鏡樣品防撞系統，其特征在于，所述運動控制反饋系統對所述信號處理系統的結果進行反饋控制，控制樣品臺進行下一步動作。
6.根據權利要求2所述掃描電子顯微鏡樣品防撞系統，其特征在于，所述激光束發射模塊用于產生一掃描式激光束，所述能夠產生掃描式激光束的激光束發射模塊包括：模塊外殼、激光二極管、固定式反射鏡、振動式反射鏡，激光束出射窗口；所述模塊外殼用來承載激光束發射模塊內部組件，所述激光二極管用來產生一激光束，所述固定式反射鏡對所述激光束進行第一次反射，所述振動式反射鏡對經過第一反射鏡反射的激光束進行第二次反射，形成一往復掃描式激光束，所述激光束經所述激光束出射窗口射出。
7.根據權利要求2所述掃描電子顯微鏡樣品防撞系統，其特征在于，所述激光束發射模塊用于產生一一字線激光束，所述能夠產生一字線激光束的發射模塊包括：模塊外殼、發光模組、棱
聲明：
“掃描電子顯微鏡樣品防撞系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：華研芯測半導體(蘇州)有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
