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掃描電子顯微鏡的樣品臺

1172   編輯:中冶有色網   來源:中國石油化工股份有限公司  
2024-05-16 15:00:27
權利要求書: 1.一種掃描電子顯微鏡的樣品臺,其特征在于,包括:樣品臺本體(1),所述樣品臺本體為正方體形狀,所述樣品臺本體(1)具有樣品槽(1A),所述樣品槽(1A)為上端開口的長方體形狀,樣品槽(1A)與樣品臺本體(1)的縱向中心軸線在同一條直線上,所述樣品臺本體(1)的四個側壁上均設置有多個大小相同的第一螺紋孔(1B),所述第一螺紋孔(1B)沿側壁中心處向上端開口的軸線方向等距離分布,所述第一螺紋孔(1B)與樣品槽(1A)聯通,所述樣品臺本體(1)的底部中心處設置有第二螺紋孔(1C),所述第二螺紋孔(1C)與樣品槽(1A)聯通;緊固螺栓(2),所述緊固螺栓(2)由第一螺紋桿(2A)和第一螺帽(2B)組成,所述第一螺帽(2B)上設有十字凹槽,所述緊固螺栓(2)的第一螺紋桿(2A)的直徑與第一螺紋孔(1B)的內徑相匹配,所述緊固螺栓(2)與樣品臺本體(1)通過螺紋配合連接;釘型腿(3),所述釘型腿(3)為圓柱體且設置有螺紋,且釘型腿(3)的直徑與第二螺紋孔(1C)的內徑相匹配,所述釘型腿(3)的一端與樣品臺本體(1)通過螺紋配合連接。2.根據權利要求1所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺,其特征在于,所述樣品臺本體(1)上端的四個頂角處分別設有安裝孔(1D),安裝孔內壁設有螺紋,通過螺釘(4)將網狀壓板(5)覆蓋固定在樣品臺本體上端,所述螺釘(4)由第二螺紋桿(4A)和第二螺帽(4B)組成,所述第二螺紋桿(4A)與安裝孔(1D)通過螺紋緊固連接,所述第二螺帽(4B)上設有十字凹槽,所述網狀壓板(5)的形狀與樣品臺本體的底面形狀相同,且網狀壓板的網孔為正方形,網孔的邊長大于第二螺紋桿(4A)的直徑且小于第二螺帽(4B)的直徑。3.根據權利要求1或2所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺,其特征在于,所述緊固螺栓(2)的第一螺紋桿(2A)的底端設有第一石墨墊片(6A),所述第一石墨墊片(6A)與第一螺紋桿(2A)通過導電膠帶或導電銀膠連接,所述第一石墨墊片(6A)的直徑與第一螺紋桿(2A)的直徑相同。4.根據權利要求1或2所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺,其特征在于,所述釘型腿(3)的底端設有第二石墨墊片(6B),所述第二石墨墊片(6B)與釘型腿(3)通過導電膠帶或導電銀膠連接,所述第二石墨墊片(6B)的直徑與釘型腿(3)的直徑相同。5
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