權利要求書： 1.一種掃描電鏡樣品導航方法，其特征在于，首先在樣品臺上標記一個長方形的四個頂點，在電鏡中記錄四個標記點在視場中心時樣品臺的坐標信息，隨后粘貼樣品，粘貼樣品時需將四個標記點露出，并在樣品臺正上方對粘貼樣品后的樣品臺成像，然后讀取四個標記點和樣品放置在成像照片中的坐標信息，利用數學上的坐標系變化計算出樣品位置在掃描電鏡中的坐標信息，最后在樣品臺控制面板內輸入樣品位置信息實現樣品導航。2.如權利要求1所述的一種掃描電鏡樣品導航方法，其特征在于，對樣平臺成像以及計算出樣品位置在掃描電鏡中的坐標信息均在同一個一體裝置中進行。3.如權利要求1或2所述的一種掃描電鏡樣品導航方法，其特征在于，所述一體裝置為手機。4.如權利要求1或2所述的一種掃描電鏡樣品導航方法，其特征在于，所述利用數學上的坐標系變化計算出樣品位置在掃描電鏡中的坐標信息，具體包括：若樣品臺上標記的四個點為O、X、Y和M，其中 且 且在電鏡中四個標記點在視場中心時坐標信息為Os(Osx，Osy)、Xs(Xsx，Xsy)、Ys(Ysx，Ysy)、Ms(Msx，Msy)，其中下標s代表電鏡樣品室坐標系下個點的位置，下標x和y分別代表橫坐標和縱坐標；當四個標記點和某個樣品放置在成像照片中的坐標信息為Oi(Oix，Oiy)、Xi(Xix，Xiy)、Yi(Yix，Yiy)、Mi(Mix，Miy)、P1i(P1ix，P1iy)時，其中下標i代表手機圖像坐標系下各點的位置，下標x和y分別代表橫坐標和縱坐標；則該樣品在電鏡坐標系下的位置P1通過以下公式計算得出：其中P1s(P1sx，P1sy)表示樣品在電鏡坐標系下的坐標。 說明書： 一種掃描電鏡樣品導航方法技術領域[0001] 本發明涉及電子顯微鏡(簡稱電鏡)表征領域，特別涉及一種掃描電鏡樣品導航方法。背景技術[0002] 電子顯微鏡樣品腔室為真空狀態，實驗過程中無法直接觀察到樣品的放置位置，而電子光路系統的最小放大倍率也達到了20倍作用的放大效果且低倍下二次電子像畸變嚴重，由此電子顯微鏡的樣品位置導航功能顯得尤為重要。常見的掃描電鏡樣品導航功能多由生產廠家配置，一部分廠家通過記錄標準樣品臺的特定位置坐標，使用時將樣品放在該特定位置，通過配套軟件驅動樣品臺馬達將樣品移動
聲明：
“掃描電鏡樣品導航方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
1115
編輯：管理員
來源：成都先進金屬材料產業技術研究院有限公司
分享 0
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
2025年08月05日 ~ 07日 
