權利要求書： 1.震動拋光機，其特征在于，包括：主軸機構，包括夾頭、軸體和主軸驅動單元，所述夾頭與所述軸體連接，所述夾頭用于固定劈刀，所述主軸驅動單元能驅動所述軸體自轉；振動機構，包括振動驅動單元，所述振動驅動單元能驅動所述軸體沿自身軸向振動；研磨機構，包括研磨部，所述研磨部能伸入到劈刀的內孔中實施研磨，所述主軸驅動單元和所述振動驅動單元能同時工作，所述軸體能帶動所述夾頭和劈刀進行自轉和軸向振動。2.根據權利要求1所述的震動拋光機，其特征在于：所述主軸機構還包括筒體，所述筒體的內壁與所述軸體的外壁之間為間隙配合，所述筒體上設有若干氣道，壓縮空氣能通過所述氣道被注入到所述筒體與所述軸體之間。3.根據權利要求1所述的震動拋光機，其特征在于：所述主軸機構還包括底座，所述主軸驅動單元為皮帶輪機構，所述底座與所述軸體連接，所述主軸驅動單元能通過皮帶驅動所述底座和所述軸體自轉。4.根據權利要求3所述的震動拋光機，其特征在于：所述振動機構還包括搖臂，所述搖臂的一端鉸接在機架上，所述振動機構還包括凸輪，所述振動驅動單元能帶動所述凸輪轉動，所述凸輪與所述搖臂相互抵靠，所述凸輪能通過轉動帶動所述搖臂往復擺動，所述搖臂與所述底座相互抵靠，所述搖臂能通過擺動帶動所述底座和所述軸體振動。5.根據權利要求4所述的震動拋光機，其特征在于：所述搖臂上還設有第一滾輪和第二滾輪，所述第一滾輪和第二滾輪與所述搖臂轉動連接，所述第一滾輪與所述凸輪接觸，所述第二滾輪與所述底座接觸。6.根據權利要求1所述的震動拋光機，其特征在于：所述研磨機構還包括夾持部和升降單元，所述夾持部能夾緊所述研磨部，所述升降單元能帶動所述夾持部和所述研磨部移動。7.根據權利要求1所述的震動拋光機，其特征在于：所述研磨部為鋼絲。8.根據權利要求1所述的震動拋光機，其特征在于：所述研磨部的形狀是截面為圓形的長條狀。9.根據權利要求1至8任意一項所述的震動拋光機，其特征在于：所述震動拋光機還包括攝像單元，所述攝像單元能通過圖像采集來監測研磨部與劈刀之間的相對位置。 說明書： 震動拋光機技術領域[0001] 本實用新型涉及研磨拋光設備，特別涉及震動拋光機。背景技術[0002] 劈刀是指微電子封裝領域中的焊接劈刀。在微電子封裝領域，集成電路芯片之
聲明：
“震動拋光機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：潮州三環(集團)股份有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
