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996氧化鋁陶瓷基板的制備方法與流程

570   編輯:中冶有色網   來源:福建華清電子材料科技有限公司  
2023-10-13 15:30:43
1.本發明涉及陶瓷基板的制備領域,尤其涉及一種996氧化鋁陶瓷基板的制備方法。 背景技術: 2.陶瓷與金屬材料及高分子材料并列為當代固體的三大材料,其在建筑、化工、電氣、航天、汽車及生物醫學領域均有重要的應用。氧化鋁陶瓷作為最常見的陶瓷之一,由于其具有較高的機械強度、硬度、抗損毀性及較高的熱導率,在電子技術領域中得到了廣泛的應用,例如,被廣泛應用作半導體集成電路陶瓷封裝管殼、真空電容器的陶瓷管殼、大功率柵控金屬陶瓷管等。 3.氧化鋁陶瓷通常以配料或瓷體中的氧化鋁的含量來分類,目前分為高純型和普通型兩種。高純型氧化鋁陶瓷系氧化鋁含量在99.9%以上的陶瓷材料,普通型氧化鋁陶瓷系氧化鋁按含量不同分為99瓷、95瓷、90瓷、85瓷等品種,有時氧化鋁含量在80%或者75%的也劃為普通型氧化鋁陶瓷系列。高純氧化鋁陶瓷主要是用于制作高溫坩堝、耐火管及特殊耐磨材料,如陶瓷軸承、陶瓷密封件及水閥片等。 4.世界范圍內制備高純氧化鋁陶瓷的原料主要依賴法國baikowski、日本住友化學工業和大明化學等公司。他們的粉體平均粒徑小,粒度分布均勻,雜質含量極低,適于制備細晶?;蛲该餮趸X陶瓷。在制備細晶高強高純氧化鋁陶瓷過程中,對原料粉體的要求非常嚴格,必須以無團聚的高純度亞微米或納米級α ? al2o3粉體為原料。實際上目前報導的細晶高強高純氧化鋁陶瓷幾乎完全采用了日本大明化學株式會社生產的tm ? dar型低團聚高燒結活性α ? al2o3粉體為原料。同時為了實現低溫燒結、控制晶粒長大,獲得高性能氧化鋁陶瓷,幾乎都是采用熱壓、熱等靜壓或放電等離子體燒結等特殊燒結工藝,如中國專利cn1304903a提出采用真空熱壓燒結工藝,在1500~1650℃下燒結得到的氧化鋁陶瓷抗彎強度達到610~660mpa。a.krell則采用熱等靜壓工藝制備出相對密度高于99.95%的亞微米晶氧化鋁陶瓷,抗彎強度達到709 ± 49mpa。趙喆(中國專利cn101306943a)和高濂(中國專利cn101624290a)等人都是采用放電等離子體燒結工藝制備出了高性能的氧化鋁透明陶瓷。和無壓燒結工藝相比,以上工藝需要特殊的燒結設備,投資大成本高,不適合大規模的工業化生產。 5.另外,現有氧化鋁在進行加工生產時,需要利用球磨裝置對氧化鋁進行研磨作業,將氧化鋁研磨成粉末,但是在球磨裝置內的
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