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具有自保護功能的硅?藍寶石壓力傳感器敏感結構

1168   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:20:06
本發明屬于先進傳感器技術研究中的傳感器優化設計的技術領域，具體涉及一種具有自保護功能的硅?藍寶石壓力傳感器敏感結構。本發明提出了一種具有自保護功能的硅?藍寶石壓力傳感器結構，主要用于解決高壓測量時由于壓力超出量程范圍而造成傳感器敏感膜片損壞，進而導致傳感器失效的問題。該傳感器結構主要包括鈦合金殼體、鈦合金應變膜片、藍寶石膜片、單晶硅應變電阻、鈦合金保護膜片、金屬引線和支架。藍寶石膜片上設置有單晶硅應變電阻，通過金屬引線連接成電橋，并引出到傳感器殼體外。本發明采用雙膜片結構，可以有效保護壓力傳感器敏感膜片，避免其在被測壓力超出壓力量程范圍時損壞。
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