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解膠機

1195   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:05:33
本實用新型提供一種解膠機，包括箱形本體，本體前方具有開口，本體內空腔頂部中間區域設UV光源，UV光源照射方向向下；托架為抽屜形，其可從開口處伸入并水平放置于本體內空腔底部，托架中間區域具有圓形的第一鏤空部；載具，載具為直徑大于第一鏤空部的中空柱體，其兩側的徑向截面相互平行，至少其中一側用以與UV膜的黏貼面貼合并將UV膜固定為平面；測距單元，設于本體內空腔頂部或底部的中間區域，用于測量測距單元至載具一側UV膜之間的距離；利用了載具正反放置，其一側的UV膜具至測距單元的距離有高度差，即可識別待解膠晶圓片是否放反，以解決因操作人員失誤將待解膠的晶圓片放反，解膠流程失效導致器件損壞，生產成本增加的問題。
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聲明：
“解膠機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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